FT-3110 系列全自动四探针测试仪
FT-3110系列全自动四探针测试仪
功能介绍Function Introduction
四点探针法、全自动化运行测量系统
PC软件采集和数据处理、ASTM方法
自动正/负电流输出，自动正/负电压测量
测量电阻率、方块电阻、厚度
可调探针压力、测试点数、多种模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析
适用范围Scope of application
晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片；
表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；
半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
参数资料technical data
|
规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B（可扩展） |
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1.方块电阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
|
2.电阻率 |
10^-5～2×10^5Ω-cm |
10-6～2×105Ω-cm |
|
3.测试电流 |
0.1μA;1μA;10μA，100µA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.电阻精度 |
≤0.3%（标准电阻） |
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5.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 |
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6.压力范围 |
探针压力可调范围：100-500g |
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7.探针 |
钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制 |
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|
8.载台类型及尺寸选购 |
选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格 |
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9.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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10.重复性 |
单点重复性：重复性≤0.5% |
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11.防护功能 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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12.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
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标准配置外订购明细
|
序号 |
型号 |
品名 |
单位 |
数量 |
备注 |
|
1 |
3310-CSX |
测试线 |
套 |
1 |
|
|
2 |
09A |
标准电阻 |
个 |
1-5 |
选购规格和数量 |
|
3 |
3310-YPT-2 |
晶圆样品台 |
套 |
1 |
2寸;4寸;6寸;12寸选购 |
|
4 |
3310-06B |
四探针探头 |
个 |
1 |
直线型 |
|
5 |
340-TTZ |
镀金弹簧铜针4根 |
组 |
1 |
4根为一组 |
|
6 |
340-WTZ |
弹簧钨针4根 |
组 |
1 |
4根为一组 |
|
7 |
3310-RJ |
分析软件 |
套 |
1 |
|
|
8 |
PC |
电脑+打印机 |
套 |
1 |
依据客户要求配置 |
|
9 |
3310-JL |
检测技术服务 |
份 |
1 |
计量证书1份 |
|
|
|
延保服务 |
年 |
1-3 |
|
参考图片，与实物有所差异
举例：
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四探针电阻测试测试报告 |
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|
仪器名称 |
全自动四探针电阻测试仪 |
晶圆尺寸 |
4寸 |
|
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|
型号 |
FT-3110 |
日 期 |
2022/1/11 |
|
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|
操作员 |
|
试样编号 |
0 |
|
||
|
测试模式 |
自动模式 |
测试总点数 |
24点 |
|
||
|
试 验 评 定 |
|
|||||
|
最大值 |
25.418098mΩ |
最小值 |
22.608799mΩ |
|
||
|
平均值 |
24.103023mΩ |
变异系数 |
3.15% |
|
||
|
标准方差 |
0.758884 |
|
|
|
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|
|
|
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|
测试员 |
|
审核 |
|
|
||
|
|
|
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|
|
||||||
|
|
||||||
|
|
||||||
|
|
||||||
|
|
||||||
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|
||||||
|
|
||||||
|
|
||||||
|
|
||||||
|
|
||||||
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|
|
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|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
测试点序号 |
坐标X |
坐标Y |
电阻 |
电阻率 |
电导率 |
测试时间 |
|
1 |
0 |
0 |
24.239603mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:12 |
|
2 |
0 |
45 |
24.807999mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:19 |
|
3 |
0 |
30 |
23.382601mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:25 |
|
4 |
0 |
15 |
23.828499mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:32 |
|
5 |
-11.647 |
43.467 |
25.299801mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:38 |
|
6 |
-11.481 |
27.716 |
23.733301mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:44 |
|
7 |
-22.5 |
38.971 |
24.305199mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:50 |
|
8 |
-31.82 |
31.82 |
24.9972mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:51:58 |
|
9 |
-21.213 |
21.213 |
24.1514mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:52:05 |
|
10 |
-10.607 |
10.607 |
23.864899mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:52:13 |
|
11 |
-38.971 |
22.5 |
25.263601mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:52:21 |
|
12 |
-27.716 |
11.481 |
24.223202mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:52:31 |
|
13 |
-43.467 |
11.647 |
25.109001mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:52:42 |
|
14 |
-45 |
0 |
25.0989mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:52:53 |
|
15 |
-30 |
0 |
24.230602mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:53:04 |
|
16 |
-15 |
0 |
23.706001mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:53:14 |
|
17 |
-43.467 |
-11.647 |
25.2987mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:53:24 |
|
18 |
-27.716 |
-11.481 |
23.566099mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:53:35 |
|
19 |
-38.971 |
-22.5 |
24.7043mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:53:46 |
|
20 |
-31.82 |
-31.82 |
24.574799mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:53:57 |
|
21 |
-21.213 |
-21.213 |
23.226702mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:54:09 |
|
22 |
-10.607 |
-10.607 |
23.324699mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:54:22 |
|
23 |
-22.5 |
-38.971 |
24.288099mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:54:35 |
|
24 |
-11.481 |
-27.716 |
23.151098mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:54:48 |
|
25 |
-11.647 |
-43.467 |
23.6782mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:55:02 |
|
26 |
0 |
-45 |
24.486401mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:55:16 |
|
27 |
0 |
-30 |
23.250999mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:55:32 |
|
28 |
0 |
-15 |
22.608799mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:55:47 |
|
29 |
11.647 |
-43.467 |
25.418098mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:56:04 |
|
30 |
11.481 |
-27.716 |
23.216301mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:56:21 |
|
31 |
22.5 |
-38.971 |
24.659201mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:56:38 |
|
32 |
31.82 |
-31.82 |
24.7784mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:56:58 |
|
33 |
21.213 |
-21.213 |
23.011299mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:57:21 |
|
34 |
10.607 |
-10.607 |
23.0168mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:57:45 |
|
35 |
38.971 |
-22.5 |
23.740002mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:58:09 |
|
36 |
27.716 |
-11.481 |
22.7059mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:58:36 |
|
37 |
43.467 |
-11.647 |
24.723402mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:59:02 |
|
38 |
45 |
0 |
24.668098mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:59:28 |
|
39 |
30 |
0 |
24.0089mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
15:59:55 |
|
40 |
15 |
0 |
23.870798mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:00:25 |
|
41 |
43.467 |
11.647 |
24.731701mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:00:54 |
|
42 |
27.716 |
11.481 |
23.8197mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:01:23 |
|
43 |
38.971 |
22.5 |
24.736702mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:01:54 |
|
44 |
31.82 |
31.82 |
24.584mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:02:24 |
|
45 |
21.213 |
21.213 |
23.4272mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:02:59 |
|
46 |
10.607 |
10.607 |
23.564098mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:03:32 |
|
47 |
22.5 |
38.971 |
24.933201mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:04:01 |
|
48 |
11.481 |
27.716 |
22.850498mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:04:32 |
|
49 |
11.647 |
43.467 |
24.1831mΩ |
0mΩ.mm |
InfkS.mm |
16:05:02 |
