全自动四探针测试仪FT-3110 系列
性能上，FT-3110B 测量范围更宽（方块电阻 10⁻⁶～2×10⁵Ω/□，测试电流 1A），两款机型均达≤0.3% 电阻精度与≤0.5% 单点重复性，探针压力可调且配备多重防护功能可靠。适配 2-12 寸圆形晶圆及定制方片，支持单点、面扫描等多种测试模式，应用于半导体、太阳能电池、OLED、纳米材料等领域。
可选配测试线、定制载台、备用探针、分析软件、电脑打印机等配件，提供计量检测服务与 1-3 年延保，可根据测试需求灵活选型，兼顾实验室研发与生产线批量检测需求。
产品概述
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 系列全自动四探针测试仪，依托四点探针法技术与全自动化运行系统，测量材料电阻率、方块电阻及厚度参数，兼容 ASTM 测试标准，配备 PC 端分析软件，支持 2D/3D 扫描成像与数据统计，为导电 / 半导体 / 绝缘材料的电性能检测提供解决方案。产品涵盖 FT-3110A 与可扩展型 FT-3110B 两款型号，满足不同精度测试需求。
产品优势
- 高精度测量：方块电阻测量范围至 10⁻⁶Ω/□，电阻率精度≤0.3%，单点重复性≤0.5%，配备标准校准电阻件保障数据准确
- 全自动化操作：支持单点、五点、面扫描等多模式测试，自动采集数据并生成报表，大幅减少人工干预
- 灵活适配性：钨钢探针压力 100-500g 可调，兼容 2-12 寸圆形晶圆与 153mm×153mm 内方形载台，支持定制化需求
- 多重防护设计：具备限位量程、压力保护、急停防护与异常警报功能，保障设备与操作人员
- 智能数据分析：软件集成单位换算、图谱分析、数据导出功能，支持温湿度同步记录与统计分析
技术参数
|
规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B（可扩展） |
|
1.方块电阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
|
2.电阻率 |
10^-5～2×10^5Ω-cm |
10-6～2×105Ω-cm |
|
3.测试电流 |
0.1μA;1μA;10μA，100µA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
|
4.电阻精度 |
≤0.3%（标准电阻） |
|
|
5.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 |
|
|
6.压力范围 |
探针压力可调范围：100-500g |
|
|
7.探针 |
钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制 |
|
适用范围
- 半导体材料：晶圆、硅晶块、半导体粉末、太阳能电池元器件
- 导电薄膜：ITO 导电箔膜、电阻式 / 电容式触屏薄膜、金属化标签
- 功能涂层：溅射 / 涂覆层、电极涂料、外延层 / 扩散层
- 新型材料：导电橡胶、合金类箔膜、石墨烯复合材料、新能源电池材料
应用案例解析
案例 1：半导体晶圆电阻率检测（某微电子企业）
- 需求：6 寸硅晶圆批量生产过程中，需快速检测电阻率均匀性，确保芯片性能一致性
- 解决方案：采用 FT-3110B 型设备，配置 12 寸圆形载台与面扫描模式，设定测试点数 81 个
- 实施效果：单次测试耗时≤15 分钟，数据重复性误差 < 0.5%，生成 3D 电阻率分布图谱，定位异常区域，检测效率提升 40%
案例 2：导电薄膜方块电阻测试（某触控屏制造商）
- 需求：ITO 薄膜生产线上，需实时监控涂层方块电阻，控制产品导电性能
- 解决方案：采用 FT-3110A 型，搭配自定义方形载台，开启五点测试模式，联动生产线数据系统
- 实施效果：测试精度达 0.3%，支持连续 24 小时运行，数据自动上传至质控平台，不良品率下降 18%
案例 3：新能源材料研发检测（某高校实验室）
- 需求：研发新型锂电池电极材料，需测试不同工艺下电阻率变化，优化配方参数
- 解决方案：FT-3110B 可扩展型，搭配高温测试模块（可选），支持多温度点数据对比
- 实施效果：实现 10⁻⁶~10⁵Ω・cm 宽范围测量，生成电阻率 - 温度关系曲线，为工艺优化提供数据支撑
服务支持
- 售后响应：24 小时在线技术咨询，工作日 2 小时内提供解决方案，常用备件现货供应
- 定制服务：支持探针规格、载台尺寸、测试软件功能等个性化定制
-
样品测试流程
样品测试流程，ROOKO 瑞柯微依托自身全系列可售测试仪器，为客户提供的粉体与新材料样品测试服务，流程规范且兼具技术深度。
测试前，客户可通过多渠道咨询，专属顾问结合其需求与样品特性（如粉体、半导体材料等），依据公司粉体 / 颗粒测试、材料电性能测试等仪器能力，提供方案与费用预估。确认需求后签订合同，客户完成付款可申请开具票据，流程便捷透明。
样品提交后，实验室核验状态并建档存放，工程师基于 ISO9001 体系标准与公司仪器特性制定方案，使用粉末电阻率测试仪、四探针测试仪等设备，经预处理、设备校准后测试，重复 2-3 次确保数据可靠（误差≤0.5%）。
测试完成后编制含原始数据、曲线图表的报告，审核通过后交付客户。客户 7 日内可反馈疑问，24 小时内获技术响应，异议可申请复测。样品按需求返还或合规处置，后续还提供标准更新、批量测试优惠等长期支持，深度适配科研与工业场景需求。넶33 2026-01-13 -
产品延保技术服务方案
ROOKO 瑞柯微产品延保服务，专为品牌旗下 5 年内产品打造，含 1 年标准版服务，覆盖主要主件、电控系统等维修更换、软件升级，支持返厂服务与 7×24 小时技术响应，可个性化定制传感器、移机辅助等需求，帮用户降本增效。服务凭正规凭证认定，免责范围清晰，支持合规转让，为用户提供靠谱的质保后技术保障。
넶34 2026-01-08 -
产品售后服务手册
宁波瑞柯微专注粉体 & 新材料测量分析仪器，提供售后保障：仪器成品 12 个月保修，7 日内故障可换新 / 换货，24 小时在线技术咨询、2 小时响应、48 小时故障修复，含安装调试、实操培训及原厂配件供应。支持有偿延保服务，覆盖主要主件、软件等维修升级，多种服务方式满足需求。售后流程规范，权责清晰，为用户使用全程保驾护航，助力运维。
넶25 2026-01-08
