FT-3120B半自动四探针测试仪
该设备适用于晶圆、导电膜、半导体材料、太阳能电池、触摸屏等多种材料的电性能分析,四个型号的测量量程、电流与电阻精度有差异,探针间距可按需选配,可测晶片尺寸也能选购,设备具备限位量程、压力保护等可靠设计,适配实验室环境使用,可选购电脑和打印机。
产品概述
FT-3120B 半自动四探针测试仪采用四点探针标准测试方法,搭载步进自动控制探头系统,参照 A.S.T.M 标准打造,可规避人为操作对测试结果的干扰。设备支持自动 / 手动点测模式,兼具同一位置重复测试与多点面电阻测量功能,搭配 PC 软件实现数据采集、统计分析与报表输出,配备标准校准电阻件,保障测量精度与可靠性。
技术优势
- 自动控测:步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为误差,重复性≤3%
- 可靠测量:电流精度 ±0.1%,电阻精度≤0.3%,支持自动正 / 负电流输出与电压测量
- 灵活适配:探针压力 100-550g 可调,间距 1/2/3mm 可选,支持 2-12 寸晶圆及大至 156mm×156mm 方形片测试
- 智能分析:PC 软件集成多参数显示、单位换算、数据统计(大值 / 均值 / 方差等)与报表生成功能
- 防护:具备限位量程与压力保护设计,探针针间绝缘电阻≥1000MΩ,机械游移率≤0.3%
技术参数
| 项目 | 规格详情 |
|---|---|
| 电阻测量范围 | 10⁻⁵~2×10⁵Ω |
| 方块电阻范围 | 10⁻⁵~2×10⁵Ω/□ |
| 电阻率范围 | 10⁻⁵~2×10⁵Ω·cm |
| 测试电流档位 | 0.1μA、1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA |
| 探针配置 | 圆头铜镀金 / 钨钢材质,间距可选 1/2/3mm(可定制其他规格) |
| 可测样品尺寸 | 晶圆 2-12 寸;方形片 156mm×156mm 或 125mm×125mm |
| 分析模式 | 自动单点模式、手动单点模式 |
| 工作电源 | AC 220V±10%,50Hz,功耗<100W |
| 适用环境 | 实验室环境 |
适用范围
适用于晶圆、非晶硅 / 微晶硅、导电膜、选择性发射极扩散片、表面钝化片、交叉指样 PN 结扩散片、电镀铜电极等材料的电阻率测量,应用于半导体材料分析、铁电材料、纳米材料、太阳能电池、LCD、OLED、触摸屏等行业的研发与质检场景。
可选配件与增值服务
可选配件
- 测试线(型号 3310-CSX)
- 标准电阻(型号 09A,1-5 个可选)
- 晶圆样品台(型号 3310-YPT-2,2/4/6/12 寸可选)
- 直线型四探针探头(型号 3310-06B)
- 镀金弹簧铜针 / 弹簧钨针(4 根 / 组)
- 分析软件(型号 3310-RJ)
- 定制配置电脑 + 打印机
增值服务
- 检测技术服务:提供三方计量证书(型号 3310-JL)
- 延保服务:1-3 年有偿延保(型号 3120B-YB)
- 技术支持:24 小时在线咨询,工作制内 2 小时响应解决方案
- 定制服务:按需定制探针间距、样品台等个性化配件
《四探针电阻率测试仪选型:材料类型决定配置(金属 / 薄膜 / 半导体 / 涂层)》
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样品测试流程
样品测试流程,ROOKO 瑞柯微依托自身全系列可售测试仪器,为客户提供的粉体与新材料样品测试服务,流程规范且兼具技术深度。
测试前,客户可通过多渠道咨询,专属顾问结合其需求与样品特性(如粉体、半导体材料等),依据公司粉体 / 颗粒测试、材料电性能测试等仪器能力,提供方案与费用预估。确认需求后签订合同,客户完成付款可申请开具票据,流程便捷透明。
样品提交后,实验室核验状态并建档存放,工程师基于 ISO9001 体系标准与公司仪器特性制定方案,使用粉末电阻率测试仪、四探针测试仪等设备,经预处理、设备校准后测试,重复 2-3 次确保数据可靠(误差≤0.5%)。
测试完成后编制含原始数据、曲线图表的报告,审核通过后交付客户。客户 7 日内可反馈疑问,24 小时内获技术响应,异议可申请复测。样品按需求返还或合规处置,后续还提供标准更新、批量测试优惠等长期支持,深度适配科研与工业场景需求。넶166 2026-01-13 -
产品延保技术服务方案
ROOKO 瑞柯微产品延保服务,专为品牌旗下 5 年内产品打造,含 1 年标准版服务,覆盖主要主件、电控系统等维修更换、软件升级,支持返厂服务与 7×24 小时技术响应,可个性化定制传感器、移机辅助等需求,帮用户降本增效。服务凭正规凭证认定,免责范围清晰,支持合规转让,为用户提供靠谱的质保后技术保障。
넶163 2026-01-08 -
产品售后服务手册
宁波瑞柯微专注粉体 & 新材料测量分析仪器,提供售后保障:仪器成品 12 个月保修,7 日内故障可换新 / 换货,24 小时在线技术咨询、2 小时响应、48 小时故障修复,含安装调试、实操培训及原厂配件供应。支持有偿延保服务,覆盖主要主件、软件等维修升级,多种服务方式满足需求。售后流程规范,权责清晰,为用户使用全程保驾护航,助力运维。
넶152 2026-01-08